退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。下面，聽(tīng)一聽(tīng)分析退火爐一些常見(jiàn)故障有哪些？

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退火爐故障出現(xiàn)后，監(jiān)控主畫(huà)面上方會(huì)出現(xiàn)報(bào)警提示，根據(jù)提示內(nèi)容可初步判定故障設(shè)備，報(bào)警具體如下：V101閥位報(bào)警、V105閥位報(bào)警、加熱段煤氣換向報(bào)警、加熱段空氣換向報(bào)警、保溫段煤氣換向報(bào)警、保溫段空氣換向報(bào)警。
其中，V101閥即加熱段煤氣快切閥，V105閥即保溫段煤氣快切閥，每一設(shè)備由動(dòng)作部分和閥位反饋部分組成，動(dòng)作部分由電磁閥帶氣動(dòng)元件發(fā)生動(dòng)作。
故障排查：出現(xiàn)上述報(bào)警后，首先查看報(bào)警設(shè)備在監(jiān)控主畫(huà)面上顯示的顏色，確定其狀態(tài)。
若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色“X”，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設(shè)備，若無(wú)脫離，可打開(kāi)行程開(kāi)關(guān)，檢查行程內(nèi)凸輪是否出現(xiàn)不到位情況，適當(dāng)調(diào)整使之較大弧度處壓上彈簧片即可。
若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點(diǎn)在動(dòng)作部分，檢查動(dòng)作部分時(shí)，先于現(xiàn)場(chǎng)觀察電磁閥兩插頭是否有一個(gè)亮燈，若兩個(gè)都不亮，則為電氣故障。
然后，若有一個(gè)亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個(gè)電磁閥插座上輪流插拔試驗(yàn)，若汽缸不動(dòng)作，則為機(jī)械故障。若汽缸動(dòng)作，則為電氣故障。
調(diào)節(jié)閥可參考其關(guān)聯(lián)溫度判斷設(shè)備是否工作正常，若出現(xiàn)故障，先關(guān)閉電源控制柜內(nèi)其工作電源，打開(kāi)現(xiàn)場(chǎng)閥蓋，在確認(rèn)閥內(nèi)模塊不帶電的情況下，用內(nèi)六方扳手旋轉(zhuǎn)閥體，若旋轉(zhuǎn)感覺(jué)很卡，則為機(jī)械故障，若感覺(jué)旋轉(zhuǎn)順暢，則為電氣故障。
此處模擬量指溫度、壓力和流量等。除空氣總管壓力和煤氣總管壓力外，其余模擬量不參與控制。